汉虹12英寸半导体单晶炉荣获上交会国际发明创新展览会金奖

企业新闻2023-07-06

社交媒体 |

6月17日,中国(上海)国际技术进出口交易会圆满落幕。会上,中欧app下载(中国)有限公司官网报送的12英寸半导体单晶炉凭借其先进的技术荣获国际发明创新展览会金奖。

中国(上海)国际技术进出口交易会(以下简称“上交会”)是经国务院批准,由商务部、科技部、国家知识产权局和上海市政府共同主办,联合国工业发展组织、联合国开发计划署、世界知识产权组织支持,是我国首个集技术展示和交易服务为一体的国家级、国际性、综合性展会,在吸引全球企业发布最新创新成果、促进科技成果转移转化、建设国际创新合作网络等方面发挥了积极作用。

此次荣获大会金奖,正是对汉虹长久以来坚持改革创新,不断提高研发和制作能力的最好肯定。

汉虹FT-CZ3212型12英寸半导体单晶炉,实现了国内半导体设备单晶炉制造的突破,汉虹12英寸半导体单晶炉实现了:

1:低能耗32英寸大尺寸热场,GSim热解析全新热场结构;

2:设计有去除氧化物的真空排气管道,可以自动清除管道内的氧化物;

3:全新气囊密封水平开闭式真空水冷旋板阀,解决阀体内部因受空间影响产生的工艺气体紊乱,造成在此段晶体直径波动大,容易NG的难题;

4:双层水冷套结构,集冷却水和工艺气体吹扫,有效冷却晶棒的同时可以清扫氧化物,提高晶体的质量;

5:液面稳定控制系统,采用德国高精度激光液口距检测反馈控制系统,能精确控制液面到热屏距离在设定距离H±0.5mm,减少液面波动对拉晶的影响;

6:可升降水冷轴提升热屏,采用高精度直性模组;

7:磁场升降采用四轴同步升降系统,升降结构稳定可靠,解决了升降时产生振动和异响问题;

8:一体式自定心重型籽晶夹头,籽晶与夹头间采用一高强度石墨套过渡,石墨套外锥与夹头配合,内锥与籽晶配合,采用锥度连接,自动定心找正,解决了籽晶与夹头咬死问题。

通过创新,汉虹已使12英寸单晶炉设计走在了国内半导体设备的前列。未来,汉虹也将不忘初心,继续深耕半导体设备领域,不断提升先进制造技术,不断提升工艺水平,为客户提供更具竞争力的产品和服务!

 

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